低温灭菌方法是利用化学灭菌剂杀灭病原微生物的方法。化学药剂进行灭菌处理时所需温度较低，通常称为低温灭菌方法或化学灭菌方法。低温灭菌使用的化学消毒剂能够杀灭所有微生物，达到灭菌保证水平，这类具有灭菌作用的化学药剂有甲醛、戊二醛、环氧乙烷、过氧乙酸等。化学灭菌用于不能耐受高温、湿热材质类的器械的灭菌。